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Manufacturability Signoff (DFM)

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マスク・プリパレーション

マスク・プリパレーション

テープアウト・フローにおいて製造を加速し、リソグラフィのエラーを減少させるために、最新のRETソリューション とOPCツールが必要です。ケイデンスは、先端的なOPCツール(process & proximity compensation)を提供します。また、業界で広く使用されているマスクデータ・プリパレーション・ツール、リソ解析ツールを提供します。これらはナノメータ・プロセスノード向けに大手ファウンドリ・メーカでもご使用いただいています。

Cadence MaskCompose Reticle and Wafer Synthesis Suite

レチクル/ウェハレイアウト合成を自動で最適化します。エラーをなくし、マスク作成のサイクルタイムを低減させます。

詳しくは(英語サイト)

Cadence QuickView Layout and Manufacturing Data Viewer

GDS II/OASISなどのレイアウト設計データとをいろいろな業界標準のEB描画フォーマットをビューすることができます。製造関連のデータを重ね合わせてビューすることもできます。

詳しくは(英語サイト)